臭氧活性炭联用工艺,1961年在德国的AmAtard水厂首先使用。考虑到水处理中使用的活性炭能较有效去除小分子有机物,但对大分子有机物的去除很有限;当水中大分子有机物含量较多,势必会使活性炭的吸附表面加速饱和,得不到充分利用,缩短使用周期。若进水先经臭氧氧化,使水中大分子有机物分解为小分子状态。如芳香族化合物可以被臭氧氧化打开苯环、长链的大分子化合物可以被氧化成短链小分子物质等,这就提高了有机物进入活性炭微孔内部的可能性,充分发挥了活性炭的吸附表面,延长了活性炭的使用周期。同时臭氧还发挥了活性炭所不具备的杀菌作用。而活性炭还能有效地吸附臭氧氧化过程中产生的大量中间产物,包括解决了臭氧无法去除的三卤甲烷及其前驱物质,并保证了最后出水的生物稳定性。因此,臭氧活性炭联用技术自1961年开始使用以来,在世界发达国家得到了广泛应用。其工艺流程见下图。